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曝光机因素

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文章出处:万志宇责任编辑:HE 发表时间:2016-11-09 11:00:00

曝光的因素:

除干膜光致抗蚀性的性能外,光源的选择,曝光时间(曝光量)的控制,照相底板的质量等都是影响曝光成像质量的重要因素,曝光机的真空系统和真空框架材料的选择以及操作系统环境的温湿度,洁净度也会影响曝光成像的质量。