曝光机的原理
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文章出处：万志宇责任编辑：HE
发表时间：2016-11-18 11:00:00
曝光机基本工作原理：
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。
曝光机的应用范围：
半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品。
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